| 洁净室（区） |
温度 |
通风与空调工程施工及验收规范, GB 50243-2002附录B.6 |
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| 洁净室（区） |
相对湿度 |
洁净厂房设计规范, GB 50073-2013/6.1.4 |
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| 洁净室（区） |
相对湿度 |
洁净室施工及验收规范, GB 50591-2010附录E.5 |
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| 洁净室（区） |
相对湿度 |
通风与空调工程施工及验收规范, GB 50243-2002附录B.6 |
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| 洁净室（区） |
照度 |
洁净厂房设计规范, GB 50073-2013/9.2 |
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| 洁净室（区） |
照度 |
洁净室施工及验收规范, GB 50591-2010附录E.7 |
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| 洁净室（区） |
风速 |
洁净厂房设计规范, GB 50073-2013附录A.3.1 |
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| 洁净室（区） |
风速 |
洁净室施工及验收规范,GB 50591-2010附录E.1 |
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| 洁净室（区） |
风速 |
通风与空调工程施工及验收规范, GB 50243-2002附录B.1 |
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| 洁净室（区） |
换气次数 |
洁净厂房设计规范,GB 50073-2013/6.3.3 |
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