EO 的浓度是影响其灭菌质量最为重要的关键因素，最常见的浓度范围为: 450 ～ 1200 mg /L;
随着温度升高，EO的杀菌作用加强，灭菌温度一般为35℃ ～ 60℃ ;
灭菌物品的含水量、微生物本身的干燥环境和灭菌环境的相对湿度， 对 EO 的灭菌作用均有显著的影响， 一般最常见的相对湿度为 45% ～75% ;
灭菌时间一般为 105 ～ 300 min。
这些因素直接影响灭菌的成功与失败， 只有当四个关键因素达到平衡， 才能保证灭菌的质量。
另外，任何残留的物质都会妨碍微生物与 EO 气体的有效接触， 甚至会使细菌产生保护膜而影响灭菌效果。
EO灭菌过程控制
灭菌过程必须具有良好的质量控制，目前使用监测方法包括物理、化学、生物监测法三种，这里只提2种：
物理监测法
物理检测法也称之为工艺监测法， 即使用机械监测器进行监测， 每次应连续监测并记录灭菌时的温度、压力和时间等灭菌参数， 灭菌参数应符合灭菌器的使用说明或操作手册的要求， 但此监测仅能说明设备本身的机械状况， 并不能告知是否真正达到灭菌 。
化学监测法
使用化学指示剂进行监测， 使用时将化学指示卡放在物品内或将指示胶带贴在物品包外， 每个灭菌物品的外包装应粘贴包外化学指示胶带， 作为灭菌过程的标志; 包内放置化学指示卡， 作为灭菌效果的参考。根据胶带卡颜色变化情况来判断其灭菌效果和判断是否已经过灭菌处理。每次消毒过程均用化学指示物监测， 只有当消毒工艺符合要求， 化学指示物变色符合规定标准色要求的情况下，产品才可放行。
EO灭菌包装材料要求
用于 EO 灭菌的包装材料至少需具备以下特点：必须允许 EO 灭菌剂的进入；能耐受一定的湿度；能较容易地去除EO 残留。常见的 EO 包装材料见下表。
EO残留概述
ISO 10993-7 是目前国际上常用的规定环氧乙烷残留量限度的主要标准，标准指出 ：当 EO 和 ECH 均符合限度时， EG的风险较小。因此目前主要检测 EO 和 ECH两种残留物质 。
关于解析，目前较为安全的解析方法有两种: 一种是采用EO 灭菌器， 采用双循环灭菌、通气合二为一的设备， 解析可以在 EO 灭菌柜内继续进行; 另一种是灭菌后放入专门的通风柜内继续通气解吸。但是， 绝不允许采用自然通风法， 主要是避免对环境造成污染， 其次解析的时间也长。
降低 EO 以及 ECH、 EG 残留量的主要工艺方法是通风，含常温通风和强制通风两种。由于常温通风受季节因素影响大，目前国际上的主流方法是强制通风。即在维持一定的温度和换气次数的情况下通风。即单位时间内的换气次数越多，解析温度越高，通风效果也越好。
影响残留的因素包括几个方面 ( 灭菌物品材料、灭菌参数、包装材料和大小、装载量、解析参数等)：
材料类型：PVC 和PU吸收 EO 量较多，需较长的通风时间。PTFE 和PA吸收 EO 量很低，但结合的非常紧密，也需较长通风时间。聚乙烯PE和聚丙烯PP吸收量中等，但通风时释放较易。而金属、玻璃完全不吸收 EO，因此一般可直接使用，勿需通风。
物理参数：同样材料，越厚越难排出残留。例如0.8mm塑料排残留速度是1.6mm 塑料的3倍；同样材料，同样重量物品，表面积越大，越易排出残留。聚合物密度也影响 EO 吸收和排出，密度越大，吸收较低，但结合较紧，不易排出；而密度低则吸收较多，排出较容易
包装、装载和装载量：装载量越大，装载越密，包装越紧越大则排出越难
灭菌和通风参数：即解析参数，通风时温度越高，所需时间越短
另外，提一点，美国医院 EO 灭菌不允许用自然通风法的。美国 AAMI 对机械通风的标准是：60℃，通风8h；50℃，通风12h；38℃，通风32～36h。
