| 洁净厂房 |
送风口或特定边界的风速 |
洁净室施工及验收规范 GB50591-2010 16.2,附录E.1 |
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| 洁净厂房 |
静压差 |
洁净室施工及验收规范 GB50591-2010 16.2附录,E.2 |
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| 洁净厂房 |
开门后内0.6m处洁净度 |
洁净室施工及验收规范 GB50591-2010 16.2附录,E.2 |
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| 洁净厂房 |
洞口风速 |
洁净室施工及验收规范 GB50591-2010 16.2,附录E.2 |
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| 洁净厂房 |
房间氨浓度 |
洁净室施工及验收规范 GB50591-2010 16.2,附录E.14 |
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| 洁净厂房 |
空气洁净度级别 |
洁净室施工及验收规范 GB50591-2010 16.2,附录E.4 |
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| 洁净厂房 |
温度 |
洁净室施工及验收规范 GB50591-2010 16.2,附录E.5 |
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| 洁净厂房 |
相对湿度 |
洁净室施工及验收规范 GB50591-2010 16.2,附录E.5 |
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| 洁净厂房 |
温湿度拨动范围 |
洁净室施工及验收规范 GB50591-2010 16.2,附录E.5.2 |
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| 洁净厂房 |
区域温度差与区域湿度差 |
洁净室施工及验收规范 GB50591-2010 16.2,附录E.5.2 |
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