TEM样品的最终减薄，以获得电子束透明的观察区域。

在制备透射电子显微镜（TEM测试）薄膜样品时，工作人员在与很多同学沟通中了解到，大多数同学没有太好的处理薄膜样品的方法，对网上海量知识进行整理，希望可以帮助到伙伴们。

离子减薄

目的：TEM样品的最终减薄，以获得电子束透明的观察区域。 

特点：不受材料电性能的影响，即不管材料是否导电，金属或非金属或者二者混合物，不管材料结构多复杂均可用此方法制备薄膜。制样时惰性气体介质（氩气）对样品组织结构无影响。 

原理：在电场作用下氩气被电离成带Ar+的氩离子，带着一定能量的氩离子从阳极飞向阴极，通过阴极孔，打在接地的样品表面，使样品表面溅射。 

注意事项：减薄开始阶段，一般采用较高电压，较大束流，较大角度，这个阶段约占整个减薄过程的一半时间，随后，电压，束流，角度可相应减小，直到样品出孔，样品出孔后，即可转入样品抛光阶段，这阶段主要是改善样品质量，使薄膜获得平坦而宽大的薄区。