透射电子显微镜（TEM）简介

透射电子显微镜（TEM）能够通过电子束穿透样品，揭示材料的微观世界。这种显微镜通过电子与样品原子的相互作用，捕捉到不同密度和厚度的图像，从而展现样品的细微结构。TEM具备极高的分辨率，达到0.1至0.2纳米，并且能够提供数万至百万倍的放大能力，专门用于观察小于0.2微米的微观结构。

样品制备要求

在进行TEM检测之前，必须确保样品符合特定的制备标准，这些标准会根据样品的类型而有所不同。

粉末样品要求

1. 颗粒大小需控制在1微米以下。

2. 避免磁性物质，以免影响电镜性能。

3. 以无机成分为主，减少电镜污染和设备损害的风险。

块状样品要求

1. 需要通过电解或离子减薄技术，达到纳米级别的薄度。

2. 对于晶粒尺寸小于1微米的样品，可以通过机械破碎转化为粉末状态。

3. 同样需要避免磁性物质。

4. 制备过程较为复杂，通常需要专业人员的指导。

样品制备前的准备工作

1. 明确实验目标，例如确定纳米结构的生长方向、分析特定晶面的缺陷、进行相结构分析等。

2. 在进行HRTEM之前，先通过XRD测试确定样品结构，以节省时间和获取更丰富的微观结构信息。

3. 携带XRD数据和其他相关实验结果，与HRTEM专家进行深入沟通，确保实验目标的实现，并获取进一步的专业建议。

粉末样品制备步骤

1. 选用直径为3毫米的高品质微栅网，这是获得高质量电镜图像的关键。

2. 使用镊子小心地取出微栅网，确保膜面朝上，并平放在白色滤纸上。

3. 将适量粉末与乙醇混合，经过10至30分钟的超声振荡后，用毛细管吸取混合液滴在微栅网上，注意控制滴液量，确保粉末均匀分布。

4. 等待至少15分钟，让乙醇完全挥发，避免影响电镜的真空环境。

块状样品制备流程

1. 电解减薄法：

适用于金属和合金样品。

包括切片、研磨、抛光至适当厚度，冲孔，电解减薄，以及清洗等步骤。

2. 离子减薄法：

适用于陶瓷、半导体等材料。

包括切片、粘贴、冲孔、研磨、制作凹坑，以及离子减薄等步骤。

制备过程中的注意事项

1. 电解液具有强烈的腐蚀性，操作时需注意个人安全和设备的清洁。

2. 减薄后的样品非常脆弱，需要小心处理，避免破碎。

3. 在离子减薄过程中，需要精确对中，适度调整磨轮负载，并保持设备的清洁。

4. 离子减薄的样品在装夹和卸下过程中要非常小心，因为此时样品中心已经非常薄，不当的操作可能导致样品破碎。