ISO/TR 14644-21:2023洁净室及相关受控环境:悬浮粒子采样技术(En,30页)
ISO/TR 14644-21:2023 Cleanrooms and associated controlled environmentsPart 21: Airborne particle sampling techniques
摘要
本文讨论了探头和颗粒计数器放置的物理限制,以及连接两者的任何管道,特别是在提供5微米及以上颗粒感兴趣的代表性样品时。
该文件进一步确定了分类和监测时采样性能的关键因素,以及确定和保持可实现的计数精度与现实生活中计数可行性之间可接受的折衷的良好做法。
本文件包括一个决策树,用于确定采样空气颗粒物时的关键考虑因素,以及系统是否需要进一步评估。还提供了一些示例来说明典型的应用程序挑战,并展示了如何使用决策树。
假设本文件与ISO 14644-1和ISO 14644-2一起阅读。本文件不是手册,而是解释性文件。它没有描述ISO 14644-1和ISO 14644-2中处理的测量方法,但提供了在评估新系统或现有系统时帮助有效选择采样配置的信息。
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