ISO 14644-3:2019洁净室及相关受控环境 第3部分:检测方法(中英对照,77页)
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ISO 14644-3:2019洁净室及相关受控环境 第3部分:检测方法(60页)
ISO 14644-3:2019 Cleanrooms and associated controlled environments —Part 3:Test methods
本文档提供了支持洁净室和洁净区运行的测试方法,以满足空气洁净度分类,其他洁净度属性和相关的受控条件。
对两种类型的洁净室和洁净区进行了性能测试:具有单向气流的洁净室和具有非单向气流的洁净室,处于三种可能的占用状态:建成,静止和运行。
提供了用于确定性能参数的测试方法,推荐的测试设备和测试程序。 如果测试方法受洁净室或洁净区类型的影响,则建议采用其他程序。
对于某些测试,建议采用几种不同的方法和设备以适应不同的最终用途。 客户和供应商之间可以通过协议使用本文档中未包含的替代方法。 替代方法不一定提供等效的测量。
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法规标准
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2023-09-09
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电子电气;化妆品;环境与水质;药品与生物制品;医疗器械;医学检验
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