洁净室气流流型是指洁净室内空气的流动形态和分布，‌它受到多种因素的影响，‌如设备布局、‌送风方式、‌回风方式等，‌从而形成不同的气流流型。洁净室气流流型检测的重要性在于确保洁净室的正常运行和无尘效果，‌通过选择和改善气流流型，‌增强洁净室的自净能力，‌缩短自净时间，‌从而保证洁净室中的空气质量符合要求。‌

洁净室气流流型检测方法

洁净室气流流型检测方法主要包括气流目测和气流流向的测试。‌这些方法的应用确保了洁净室的气流流型符合规定要求，‌从而保证产品的质量和安全性。‌

1、气流目测：

可以采用示踪线法、‌发烟(雾)法和采用图像处理技术等方法。

‌示踪线法使用轻质纤维如尼龙单丝线、‌棉线、‌薄膜带等，‌放置在测试杆的末端或装在气流中细丝格栅上，‌直接观察气流的方向和因干扰引起的波动。

‌发烟(雾)法使用去离子水，‌通过固态二氧化碳(干冰)或超声波雾化器生成直径为0.5~50μm的水雾，‌或者使用四氯化钛(TiCl4)作示踪粒子，‌但需确保洁净室、‌室内设备以及操作人员不受四氯化钛产生的酸伤害。

‌采用图像处理技术时，‌利用数字计算机和二维空气流速度矢量提供量化的气流特性。‌

2、气流流向：

一般采用三维法测量气流速度等方法。

‌采用三维法测量气流速度时，‌使用热球风速计或超声风速计，‌检测点选择在关键工作区及其工作面高度。‌

此外，‌对于单向流气流流型检测，‌可以在距离过滤器表面150-500mm的距离定义测试平面，‌在房间其它关键区域产生烟雾，‌观察气流流型并用照相机或摄像机进行拍摄。

‌对于非单向流气流流型检测，‌使用气流流型烟雾发生器在送风口及回风口附近产生气流，‌在强光照明下观察烟雾方向和流动模式，‌同时用照相机或摄像机进行拍摄。

洁净室气流流型分类

常见的洁净室气流流型包括单向流、‌非单向流和混合流等。‌

单向流洁净室的气流流型呈均匀的线性形状，‌空气通过高效过滤器进入房间，‌由两侧的活动地板或隔墙返回。‌这种气流流型有利于迅速有效地排除污染物，‌维持室内生产环境所要求的空气洁净度等级。‌非单向流洁净室的气流流型又可分为顶送下回、‌顶送下侧回、‌顶送顶回等。‌非单向流的净化原理是基于稀释原理，‌通过高效过滤器送风口顶部送风，‌回风的型式有下部回风、‌侧下部回风和顶部回风等。‌依不同送风换气次数，‌实现不同的净化级别，‌其初投资和运行费用也不同。‌混合流洁净室是将垂直单向流和非单向流两种气流组合在一起构成的气流流型。‌这种气流的特点是将垂直单向流面积压缩到最小，‌用大面积非单向流替代大面积单向流，‌以利于节省初投资和运行费。