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光学薄膜基本工艺讲义PPT(114页)
资料介绍
介绍光学薄膜性能及制作工艺
作者:中国科学院上海技术物理研究所 周东平
目录
第一讲真空系统的基本知识
第二讲制备技术
第三讲镀膜工艺
第四讲薄膜材料
第五讲膜厚监控
第六讲电子枪和离子源工作原理和作用
资料大小:
928.81KB
所属类别:
科研开发
更新日期:
2020-02-27
适用行业:
电子电气;材料分析
上
传
人:
xzw001
标
签:
薄膜
光学薄膜
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