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非球体和自由曲面的绝对形状干涉测量法

嘉峪检测网        2023-04-07 12:02

DFG与斯图加特大学技术光学研究所(ITO)、德国联邦物理技术研究院(PTB) 8.42工作组、PTB 5.56工作组、PTB 4.24工作组合作开展的新研究项目“非球体和自由曲面的绝对形状干涉测量法(AbsoForm)”将于2023年1月1日开始实施,资助期为三年。
 
非球体或自由曲面的准确测量极具挑战性。所谓的“无参考”形状的干涉测量是一种物理参考平面不存在的测量技术。它的要求比传统的基于参考平面的形状测量技术要高得多,例如用于平面度或球体测量的技术。虽然它有很多优点,但“无参考”形状干涉测量法所达到的绝对形状准确度仍然是有限的。
 
该项目中,倾斜波干涉仪(TWI)被认为是一种大有可为的“无参考”光学形状测量技术。使用这种技术的目的是进一步探索如何使用其它的绝对方法来提高此类测量系统的绝对形状测量的准确度。研究人员正在考虑实验方案的虚拟建模,因为这对找到最佳方法起着至关重要的作用,这些方法最终会应用到实验装置中,并借助特殊的测试对象进行验证。
 
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来源:PTB新闻