真空系统应用中，各式材料在大气环境下制造、放置等过程中都会溶解及吸附一些气体。而在真空环境中，这些溶解、吸附的气体会重新释放出来。

真空系统应用中，材料放气，一个是常温下的放气，另一个就是在高温下的放气。 

常温下的放气

常温放气中，首先是各种有机材料的放气，它释放的主要成分是水汽，放气速率高，随时间衰减慢，因此不适宜做系统容器的内部零件。其次是玻璃、陶瓷，它们的放气主要是表层的水汽，其次是一氧化碳与二氧化碳，水汽通过烘烤可以去除，因此总体放气速率低，衰减快。金属的常温放气主要是表面氧化膜吸收的水汽，可以通过烘烤基本除净，使金属的常温放气速率显著降低，少量的金属体内放气以氢气居多。 

高温下的放气

真空系统运行过程中，不少部件都处于高温状态。玻璃、陶瓷等除了高温下体内扩散加快外，与常温放气没有本质差别。而金属的高温体扩散出气一般是溶解在内部的原子态气体在表面反应后形成分子态气体逸出。此外未经过处理的玻璃、金属表面在高温下也会成为重要的放气源，因此需要经过清洗、抛光、烘干氧化等各种表面处理工艺，降低材料放气。 

真空系统要保证合理的设计，要考虑很多真空泵的抽气能力具有选择性，因此需要知道各种材料放气的成分比例、性能，才能更好地进行针对性的选择。